제목2
Liquid Particle Inspection
멀티 채널 액상 파티클 카운터 MLPC
- 멀티 채널(10ch) 인라인 액상 파티클 카운터
- 수세 및 약품단의 오염도를 인라인 모니터링
- 액상 오염으로 인한 불량 방지
- 검사 데이터를 기반으로 소모품(필터 등) 교환 및 탱크 청소 주기를 효율적으로 관리
제품 특징
업계 최초 10개 채널 모니터링
- 업계 최초 10개 채널 실시간 인라인 모니터링
-
샘플링 ZONE별 파티클 사이즈 구별, 수량 분석 지원
(0.1um ~ 100um 파티클 사이즈 검측 모델 다양)
현장 검측 및 원격 모니터링 동시 지원
- 현장 본체 모니터로 검사 데이터 확인 가능 및 원격 실시간 모니터링 지원
- 모니터링 데이터 DB 1년간 저장, 이력 추적 가능
MLPC 실시간 모니터링 그래프
- 채널별, 시간대별 검측 파티클 사이즈 수량 표시
-
- 중앙 FDC에서 실시간 데이터 모니터링 및 1년간 DB 이력 추적 가능
IC 패키지, 반도체 분야 적용 공정
AI 파티클 이미저 AI Imager
- 액체 샘플 내의 입자 이미지를 촬영
- 입자의 형태, 크기, 수량 등 다양한 정보 제공
- 입자의 형태학적 특징을 인공지능으로 분석하여 분류 및 데이터 제공
제품 특징
특허 출원의 기술을 이용한
탁월한 영상 촬영 능력
- 미세 플로우 채널 구조 및 특수 연속 초점 광학 시스템 Extended Depth of Field (EDOF)를 이용한 전체 사물 이미지 및 깊이 촬영 능력
반투명 파티클 및 기포 식별 가능
- 경계선이 불규칙한 반투명 파티클 및 기포를 정확히 식별
대량 검사 및 분석 가능
- 1분당 100,000 파티클 이상 대량 포집 능력으로 우수한 검사 분석 효율성 제공
신속한 검사 레포트 생성 및 출력
- 매회 15분 이내 측량 검사, 그래프 기반 데이터 레포트 자동 생성 출력
파티클에 대한 인공지능 분석
- 인공지능으로 파티클을 특징별, 종류별로 분류하여 DB 구축
검측 이미지 및 분석 데이터
| 검측 이미지 |
|---|
 |
| 분석 데이터 |
|---|
 |
Starter Kit
- 액체 시료 검사 Kit
- 액체내의 입자를 SEM으로 연결하여 관찰
- CMP 슬러리, MLCC 세라믹 및 금속 입자, 전도성페이스트의 입자 등을 고형화 하지 않고 정밀(SEM) 관찰
- S/W를 통한 분석 보고서 제공
제품 특징
간편 편리한 검사
- 특수 케이스 설계로 30초 이내에 샘플 패키징 가능
업계 최고의 분해능
- 7nm 미세 파티클 관측 가능
높은 호환성
- 산업계의 다양한 SEM 장비와 99% 호환 가능
분석 보고서 제공
- 자동 파티클 분석 S/W를 통한 분석 보고서 제공
[ 액상 SEM 영상 ]
정상
[ 고형화 SEM 영상 ]
왜곡
CMP Slurry 산업 응용
- CMP 페이스트의 성능은 액상의 파티클 크기 분포와 응집성이 결정
- FlowVIEW의 Starter Kit가 취득한 액상 SEM 이미지는 파티클 크기 분포 정보 분석에 매우 중요
[ Starter Kit로 취득한 액상 SiO2의 SEM 영상과 파티클 데이터 ]
공정상 문제점
- CMP 페이스트의 파티클이 너무 크거나 뭉쳐서 미리 감지할 수 없는 경우, 웨이퍼 표면에 흠집이 발생
- CMP 페이스트의 작은 불순물을 제거하지 못하면 웨이퍼의 표면에 잔류하여 결정체를 형성해 결함과 오염을 유발
해결 방법
- 액상 성분 분석 EDS와 FlowVIEW의 Starter Kit로 실현 가능
- FlowVIEW Lite 프로그램은 파티클 크기 분포 및 응집, 분산 정도 분석 가능
MLCC
도전체 페이스트
도금층 재료
파티클 영상