제목2
PEB (IR CURE)
PEB IR CURE
- PEB 경화를 통해 드라이 필름의 밀착 불량을 획기적으로 개선
- 건조 효율을 높이기 위해 TOP/DOWN에 IR Panel Heater 채용
- In-Line 공정의 장비간 인터페이스 대응
- 고객 사양 맞춤 커스트마이즈 제작 가능
- 국내 및 해외 PKG 기판 제조사향 다수 납품 실적 보유
대표 평가 결과
[ Without PEB ]
패턴 무너짐
[ With PEB ]
밀착성 향상
장비 구성
- 투입기
- 노광 상류기
- 반전기
- 노광 하류기
- Stocker
- PEB
- 수취기
- 파인 패턴 노광 공정 라인에 필수 적용되며 노광 하류기 다음단에 배치됩니다.
- Stocker와도 세트 구성이 가능합니다.
PEB 라인업
| 표준모델 | PIR-600-100 | PIR-700-100 | PIR-700-200 |
|---|---|---|---|
| Heater Source | IR 세라믹 플레이트 히터 | ||
| 사용 온도 | 50~100℃ | 50~200℃ | |
| 유효 Baking 넓이 | 520mm | 610mm | |
| 장비 사이즈 | W980 x D600 x H1270mm | W1080 x D700 x H1270mm | |
| 장비 중량 | 250kg | 300kg | |
| 전원 사양 | AC220V / 3Φ / 60㎐ / 18KVA | ||
| 대응 기판 사이즈 |
Min. 334 x 334 mm Max. 418 x 518 mm |
Min. 334 x 334 mm Max. 510 x 610 mm |
|
| 대응 기판 두께 | 0.04 ~ 3mm | ||