제목1

제목2

Exposure Machine

ADTEC

DI 노광기 : INPREX 시리즈

  • 2005년 세계 최초 양산 라인에 대응
  • Direct Imaging 으로 마스크리스 노광 실현
  • 압도적 생산성 및 고정밀 고속 노광
  • 휨기판 클램프 기능 등 다양한 자동화 기능 탑재
  • 다종 다양한 보정 기능으로 고정밀 노광 구현
  • 다양한 고객사 현장에서 안정된 가공 실적 보유

제품 특징

One Time Scan / 다이렉트 노광
  • 독자적인 레이저 유닛의 신화상 처리엔진 탑재
  • Laser Head를 기판폭으로 라인 배열하여 원타임 스캔 실현
  • 초정밀 고속 노광 실현
ADTEC 원타임 스캔 DI 노광 공정
기판 세팅
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얼라인먼트 계측
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고속 데이터 처리
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다이렉트 노광
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제품 라인업

모델개요 IP-NX 시리즈 IP-4 시리즈 IP-6 시리즈 IP-8 시리즈
IP-NX7000 IP-4 V2 IP-6 UH IP-8 UH
High-End PKG High-End PKG High-End PKG PKG Standard
회로형성용 회로형성용 회로형성용 회로형성용
해상성능 L/S=2/2μm L/S=4/4μm L/S=6/6μm L/S=8/8μm
얼라인먼트 정도 ±1.5μm ±3μm ±5μm ±7μm
기판 사이즈 500×600 ~ 520×622mm 334×334 ~ 515×640mm 334×334 ~ 515×640mm 334×334 ~ 515×640mm
모델개요 IP-10 시리즈 IP-12 시리즈 IP-15 시리즈
IP-10 UH IP-12 UH IP-15 LUHS IP-15 UHS
MSAP MSAP Large Panel HDI
회로형성용 회로형성용 회로형성용 회로형성용
해상성능 L/S=10/10μm L/S=12/12μm L/S=15/15μm L/S=15/15μm
얼라인먼트 정도 ±7μm ±7.5 μm ±10μm ±7.5μm
기판 사이즈 334×334 ~ 515×640mm 334×334 ~ 554×640mm 483×381 ~ 635×838mm 334×334 ~ 554×640mm
모델개요 Roll to Roll 시리즈 IP-35 시리즈
IP-12 HR/UHR IP-6 HR IP-35 1000H IP-35 L1000H
FPC R to R FPC R to R MLB Large Panel
Roll to Roll Roll to Roll 회로형성용 회로형성용
해상성능 L/S=12/12μm L/S=6/6μm L/S=35/35μm L/S=35/35μm
얼라인먼트 정도 ±5μm ±5μm ±12μm ±12μm
기판 사이즈 W200~550×L250~650mm W200~550×L250~650mm 334×334 ~ 551×640mm 483×831 ~ 635×838mm
ADTEC

컨택 노광기 : ADEX 시리즈

  • 전자동 컨택 노광기 점유율 국내 90% 이상
  • 필요 사양에 따라 선택폭이 다양한 제품 라인업
  • 독자적인 U컨택 기술 적용으로 밀착성 우수
  • 고해상도, 고생산성, 고정도 얼라인먼트 실현
  • 박판, 대판에 대한 안정적인 노광 가능
  • 내외층 회로용으로 꾸준한 사랑을 받는 시리즈

제품 특징

U 컨택 밀착 방식
  • ADTEC의 독자적인 U 컨택 밀착 방식 적용
  • 빠르고 균일하며 안정된 밀착 실현
U 컨택 밀착 방식
고속 기판 반송 기구
  • 진공 흡착에 의한 핸드 반송
  • 고정도 리니어 모터 사용으로 고속 핸드 구동
고속 기판 반송 기구

제품 라인업

모델개요 솔더레지스트용
ADEX6000S ADEX5300S ADEX5250S ADEX4000S ADEX3300S/LED
PKG/HDI HDI PKG/HDI HDI MLB
해상성능 SRO=φ50μm SRO=φ50μm SRO=φ50μm SRO=φ50μm SRO=φ75μm
얼라인먼트 정도 ±3μm ±3μm ±3μm ±5μm ±5μm
광원종류 2등식10kW
초고압수은램프		 2등식10kW
초고압수은램프		 2등식8kW
초고압수은램프		 2등식8kW
초고압수은램프		 * S: 2등식10kW
초고압수은램프
* LED : UV-LED
기판 사이즈(mm) 535×635 ~ 250×300 610x711 ~ 340x410 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300
모델개요 회로형성용
ADEX5250P ADEX5300P ADEX4000P ADEX3300P ADEX3300P-LED
PKG/HDI HDI HDI MLB MLB
해상성능 L/S=12/12μm(G)
L/S=20/20μm(F)		 L/S=30/30μm L/S=15/15μm(G)
L/S=25/25μm(F)		 L/S=30/30μm L/S=30/30μm
얼라인먼트 정도 ±3μm ±3μm ±3μm ±5μm ±5μm
광원종류 2등식5kW
초고압수은램프		 2등식5kW
초고압수은램프		 2등식5kW
초고압수은램프		 1등식5kW
초고압수은램프		 UV-LED
기판 사이즈(mm) 535×635 ~ 250×300 610x711 ~ 340x410 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300
모델개요 내층양면동시노광용 Roll to Roll
ADEX2300P ADEX1300P ADEX2200P ADEX1200P AFLX2600P5
MLB MLB MLB MLB FPC
평행광 산란광 평행광 산란광 -
해상성능 L/S=50/50μm L/S=75/75μm L/S=50/50μm L/S=75/75μm L/S=12/12μm(G)
L/S=20/20μm(F)
얼라인먼트 정도 ±5μm ±5μm ±10μm ±10μm ±10μm
광원종류 2등식5kW
초고압수은램프		 2등식10kW
초고압수은램프		 2등식5kW
초고압수은프		 2등식5kW
초고압수은램프		 2등식5kW
초고압수은램프
기판 사이즈(mm) 559×635 ~ 254×305 559×635 ~ 254×305 559×635 ~ 254×305 559×635 ~ 254×305 롤자재폭 250/500mm

* (G) : Glass Photo Mask
* (F) : Film Photo Mask

ADTEC

차세대 DI 노광기 : DE 시리즈

  • 패키지용 파인 패턴에 최적화된 차세대 모델 시리즈
  • FOWLP, FOPLP용 Direct Exposure 구현
  • 최소 L/S 2/2um 대응 (웨이퍼 / 판넬)
  • 고정밀 스테이지 채용
  • 마이크로 모션 장치 내장의 고정도 광학 시스템
  • 분할 얼라인먼트 보정

제품 특징

분할 얼라인먼트 보정
  • 로컬 영역에 대한 부분 얼라인먼트
  • 최종: Die-by-Die 정렬 (Adaptive Patterning)

제품 라인업

모델개요 DE 시리즈
DE-2 DE-8
DE-2 W300 DE-2 P600 DE-8 W300 DE-8 P600
FO-WLP / PLP / PKG FO-WLP / PLP
회로형성용 회로형성용
해상성능 L/S=2/2μm L/S=8/8μm
Overlay 정도 ≦ 1μm ≦ 1.5μm ≦ 7μm
기판 사이즈 DE-2 W300 : 300mm Wafer
DE-2 P600 : 600 x 600mm Panel 		DE-8 W300 : 300mm Wafer
DE-8 P600 : 600 x 600mm Panel