제목2
Glass Substrate Inspection
PAVIS-TGV 라인업
| Model | PAVIS-10TGV | PAVIS-30TGV | PAVIS-50TGV |
|---|---|---|---|
| Min. Hole Size | 10um | 30um | 50um |
| Panel Size | 515mm x 510mm | ||
제품 특징
Glass 반전 없이 검사
Real Time Auto Focus
특허 보유개별 Light Field 적용
특허 보유쉽고 빠른 Recipe 생성
대표 검출 이미지
홀 크기 측정 / 진원도 측정 |
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FM 유형 |
Crack 유형 |
WAIST FM 유형 |
표면 / 내부 불량 유형 |
표면 불량 유형 |
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표면 불량 유형 |
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