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Auto Peeler

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Pattern용 자동노광 장치
AFLX2600P5

AFLX2600P5는 Roll상태 Flexible기판의 상,하 양면을 동시에 노광할 경우에 사용할 수 있는 양면동시 자동노광장치입니다. 마스크와 기판, 또는 Top마스크와 Bottom마스크를 고정도 화상처리에 의해, 얼라이먼트 한 후, 마스크와 기판을 진공밀착 후, UV광을 조사하여 기판양면 노광을 동시에 실시합니다.
         
높은 생산성
확대하는 ROLL기재와 동기하여 대면적(600×500mm)의 양면 일괄노광을 실현 높은 Throughput과 함께, 높은 생산성을 발휘합니다. 향후, 한층 더 ROLL기재의 확대를 상정하여, 옵션으로 노광면적을 최대 650×550mm 까지 확대하는 것이 가능하게 됩니다.
다양한 제품에의 유연성
상, 하측 마스크 양쪽모두에 얼라이먼트 기구를 보유하고 있어서, 다양한 라인에 대응합니다.
 ・단면/양면 플렉시블 기판
 ・다층 플렉시블 기판
 ・플렉시블 기판 내층/외층용도
 ・TSP용도
오랜기간 축적된 기술의 투입
Rigid기판용 노광장치에서 호평을 받은 U컨텍방식의 채용으로 단시간으로 밀착안정성과 고해상성, 고생산성을 양립합니다.
고객을 위한 장치 시스템
Rigid기판용 노광장치에서 호평을 받고 있는 마스크 부분의 인출기구를 채용 아주 편리한 셋팅성과 멘테넌스의 용이화를 실현 하였습니다.

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