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Auto Peeler

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Solder Resist 용 자동노광 장치
ADEX3100S

ADEX3100S는 Print 기판의 Solder Resist 용 으로써 고정도 Alignment, Compact 를 추구한 자동노광기 입니다. PSR 노광장치의 최대 ISSU 라고 할수 있는 sticky 문제를 최소화 하였습니다.
         
고정도 Alignment
노광 Stage 상에서 정합을 실시하며 또한 노광직전에 재 확인을 함으로써 노광위치 정도의 신뢰성을 높였습니다. 또한 화상처리에 형상써치 방식을 채용하여 Mark의 인식 능력을 향상 시켰습니다. 아울러 종래의 안분점 방식은 물론 새로운 알고리즘인 MMD(Mark간 거리 최소법)방식을 추가 하였습니다.
박판기판 대응/1매 Tabel 구조
노광 Stage는 이음매 없는 1매 Table 의 채용으로 Flexible 기판 등의 박판기판 의 안정한 반송, 밀착, 노광이 가능합니다.
이물 발생의 억제
All Stainless Cover에 Ionizer 의 탑재, Hepa Filter 를 통한 Clean Air를 Mask Holder 상면에 불어넣어 이물에 의한 불량발생을 억제 합니다.
고속 기판 반송기구
기판 반송은 진공밀착에 의한 Hand 반송 입니다. Hand 의 구동은 고속 고정도로 Clean 한 반송이 가능 합니다.
Sticky 대책
노광실의 Clean Air를 Mask Holder에 직접 불어줌으로써 노광 Glass의 온도 상승을 방지하고 노광 Stage하부를 수냉방식을 채용함으로서 온도상승을 방지하여 기판의 Sticky를 최소화 하였습니다.

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