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Auto Peeler

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Pattern용 자동노광 장치
ADEX3100P

ADEX3100P는 진공 밀착 방식과 가압 밀착 방식의 두 가지 선택이 가능합니다. 반송, 밀착 방식, 이물대책 등에서 개량,개선을 더해 종래 이상으로 고품질 기판의 안정 생산을 가능하게 하였습니다.
         
고정도 Alignment
노광 Stage 상에서 정합을 실시하고 노광 직전에 재확인 함으로써 노광위치 정도의 신뢰성을 더욱 높였습니다.
화상처리에는 형상써치 방식을 채용하여 Mark의 인식 능력을 향상 시켰으며 기존의 Mark 안분점 방식은 물론, MMD방식을 추가하여 Over layer 능력을 향상 시켰습니다.
박판기판 대응/ 1매 Stage 채용
노광 Stege는 이음새가 없는 1매 Tabel을 채용 하였으며, Flexible 기판등 박판 기판의 안정적인 반송, 밀착, 노광이 가능합니다.
이물 발생의 억제
반전기 부분에 Clean M/C를 설치할수 있는 공간의 설계로 기판 Cleaning의 기회를 높였으며, 장비 내부의 노광 Stage 및 A/W Film 의 자동 Cleaning 기능을 탑재하여 이물에 의한 불량 요인을 최소화 하였습니다. 
고속 기판반송 기구
기판의 반송은 진공흡착에 의한 Hand 반송으로, Hand 의 구동은 고속, 고정도의 리니어 모터를 사용 하고 있습니다.

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