AKC  >  PRODUCT  >  노광기  

Auto Peeler

목록으로

Pattern용 자동노광 장치
ADEX3100P,S/3300P,S
ADEX3300PL,P/3300SL,S(LED Type)

 ADEX3100P,S/3300P,SMLB,HDI기판 대응용 Middle Range컨텍노광 장비로, 박판기판의 밀착력 강화를 위해, 진공 밀착방식을 채용하고 있으며, 회로 및 SR용 을 모두 갖추고 있습니다. 반송, 밀착 방식, 생산성, Alignment 정도, 이물대책 등에서 개량,개선을 더해 종래 이상으로 고품질 기판의 안정 생산을 가능하게 하였습니다.
아울러, 고수명Type으로 LED광원 모델도 Line up에 추가 하였습니다.
         
고정도 Alignment
노광 Stage 상에서 정합을 실시하고 노광 직전에 재확인 함으로써 노광위치 정도의 신뢰성을 더욱 높였습니다.
화상처리에는 형상써치 방식을 채용하여 Mark의 인식 능력을 향상 시켰으며 기존의 Mark 안분점 방식은 물론, MMD방식을 추가하여 Over layer 능력을 향상 시켰습니다.
박판기판 대응/ 1매 Stage 채용
노광 Stege는 이음새가 없는 1매 Tabel을 채용 하였으며, Flexible 기판등 박판 기판의 안정적인 반송, 밀착, 노광이 가능합니다.
이물 발생의 억제
반전기 부분에 Clean M/C를 설치할수 있는 공간의 설계로 기판 Cleaning의 기회를 높였으며, 장비 내부의 노광 Stage 및 A/W Film 의 자동 Cleaning 기능을 탑재하여 이물에 의한 불량 요인을 최소화 하였습니다. 
고속 기판반송 기구

기판의 반송은 진공흡착에 의한 Hand 반송으로, Hand 의 구동은 고속, 고정도의 리니어 모터를 사용 하고 있습니다.

 

기판 사이즈 극대화

종래의 ADEX3000 Series로 이어오던 기판사이즈를 탈피하여, 근래 대형화 추세 에 있는 MLB기판을 겨냥, 표준사이즈를 중대형화 하였습니다.

 

1광원 2노광 평행광원(P type)

광원(램프)가 1대이기 때문에 장치전체가 컴펙트하고 경제적입니다. 상, 하류 순차노광에 따라, 광원미러가 배분하여 대응합니다.

 

자동 셋팅 기능

마스크 마크, 기판 마크, 카메라 위치, 기판 반입위치의 등록을 자동으로 설정하 기 때문에 셋팅시간을 대폭으로 단축 가능합니다.

 

경기도 화성시 동탄면 장지안길 6 (장지리 559-4) (주)에이케이씨   TEL. 031-8015-5099   FAX. 031-8015-5395   Email. akc@akcco.com copyright(c)2011  AKC Co., Ltd. All Right Reserved.