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분할노광 대응 고정도 자동노광장치
ADEX5300P/S. 5250P/S. 4000P/S
AADEX5000/4000 series는 고정도 기판의 생산에 요구되는 Over layer 정도 향상을위한 분할 Shutter를 탑재한 Contact 노광장치의 최상위 기종 입니다. Model은 Pattern용 과 Solder resist용 으로 크게 구분되며, F/C PKG 기판에 특화한 전용 Model도 갖추고 있습니다.
         
분할노광(분할 Shutter 기능)
기판과 마스크의 신축의 영향을 최소화 하기 위하여 노광영역 이외를 셔터로 차광하여 2분할, 3분할, 4분할, 6분할 노광을 실시합니다. 정렬은 분할 영역별로 실시하기 때문에, 오버 레이어 정밀도가 향상됩니다. 또한 종래의 노광 장치와 같이 일괄 노광도 가능합니다.
고정도 Alignment
노광 Stage 상에서 정합을 실시하며 또한 노광직전에 재 확인을 함으로써 노광위치 정도의 신뢰성을 높였습니다. 또한 화상처리에 형상써치 방식을 채용하여 Mark의 인식 능력을 향상 시켰습니다. 아울러 종래의 안분점 방식의 고정도 및 새로운 알고리즘인 MMD(Mark간 거리 최소법)방식을 추가 하였습니다.
Platen(stage) 및 Mask 의 자동 Cleaning 기능
노광기 내부에 클린 롤러와 집진 노즐을 표준 탑재하여 설정 매수마다 마스크 및 Stage 청소를 자동으로 실시합니다. 이에 따라 유입 이물의 영향을 최소화 하고, 작업자에 의한 Cleaning 시간을 줄이는 데 도움이됩니다
U-Contact 방식 채용
당사 독자의 U - Contact 밀착 방식의 채용으로 빠르고 균일한, 안정된 밀착이 가능합니다. 
기존LAMP 와 차별화된 LAMP 장착
ADEX5300P/S는 특대형 기판의 대면적 노광에 대응하기 위해, 기존 5Kw 초고압램프에 비해 출력이 높은 10KW 평행광램프를 처음으로 채용한 모델로, 약 2.1 배의 높은 조도를 가지며 대면적 기판을 단시간에 노광할 수 있습니다.
노광가능 기판사이즈는 610X711mm 입니다.
생산성 향상
기구적인 구성의 최적화 구현으로 기존 ADEX5100 Series보다 빠른 Tact time을 구현하여 전체 생산 Capa의 상승이 가능하게 되었습니다.
SR장비의 조도 저하 방지 기구 설치
기존 PSR장비에서 발생하는 Clean Room내 밀러 오염에 따른 조도 저하를 방지하는 에어커텐 기능을 추가하여 장비의 조도 저하를 방지함 으로서, 생산성 향상 및 밀러의 사용수명을 연장하였습니다.
시인성 향상
PLATEN의 구동 동작등을 외부에서 확인 가능하도록 별도의 창을 구성하여 내부에서 동작되는 구동부를 육안으로 확인 가능하도록 하였습니다.

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