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Auto Peeler

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고해상도, High Throughput 의 Mask Less Digital 노광장치
INPREX [IP-5/IP-6 9000 * 9500H/IP-8 8000H/IP-15 5000UH*UHS/IP-12 6000H/IP-10 7000H/IP-15 L3800(H)]
2005 년 세계 최초의 양산 라인 대응의 전자동 디지털 노광기로 탄생한 Mask Less의 INPREX는 압도적인 생산성과 고정밀 고속 노광을 실현하였습니다. 또한 클램프를 비롯한 여러가지 새로운 기능은 휨기판등 실제 양산시 발생할수 있는 여러가지 문제에 대한 대응력을 크게 향상시켜 장비의 가동율을 극대화 시켰습니다. 압도적인 생산성과 여러 고객의 양산 Line에서 안정된 가동 실적을 쌓아온 INPREX는 높은 품질과 높은 생산성을 실현한 차세대 노광장치 입니다.

▒PKG향 Fine Pattern용 : INPREX [IP-5/IP-6 9000 * 9500H/IP-8 8000H]
▒HDI/Build up용 : INPREX [IP-15 5000UH*UHS/IP-12 6000H/IP-10 7000H]
▒대면적 노광용 : INPREX [IP-15 L3800(H)]
One Time Scan / 다이렉트 노광

독자 레이저 Unit에 선진렌즈 기술을 융합한 신묘화 엔진탑재
Laser Head를 기판폭 라인배열로 One Time Scan을 실현
대면적 고속 노광이 가능
품질, 스피트, 안정성, 독자 기술로 세계최고의 시스템 밸런스를 실현
헤드간 이음매나 틀어짐이 없는 고품질 노광을 실현

초정밀 · 고속노광
일부모델에서 분해능 0.5/1.0um의 Fine화로 매끄러운 정밀노광이 가능
고속노광에 적합한 화소 피치 2.5um의 배속노광과 신화상처리엔진을 탑재하여 고속노광 실현
다양한 보정기능 · 자동화
생산기판의 변형이나 위치 틀어짐에 대해, 다종다양한 보정기능 준비
X,Y스케일의 배율보정, 평행사변형 보정, 자유변형보정에 따라 자재로 노광 Data 보정가능
자동반송기구 일체형 장치
양산 LINE투입을 전제로 기판 클램프 등, 양산 시 발생할 수 있는다양한 문제에 대응
Wide Range Auto Focus

기판의 굴곡이나 휨에 의한 높이 변화나 빌드업층의 미묘한 요철에 대응
DOF추종성에 더해 ±300~400um의 가동범위 확보로 핀트 틀어짐이 발생하지 않음

Alignment Retry
마크위치 틀어짐이나 외형치수 편차에 의한 발생 시, 라인정지 없이 기판위치 자동보정
리젝트 기판이 줄어, 생산성 향상에 극대화
              

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