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고해상도, High Throughput 의 Mask Less Digital 노광장치
INPREX [IP-3750H/IP-4000H/IP-3650HH/6um고해상도機
IP-3800H/IS-4000H]
2005 년 세계 최초의 양산 라인 대응의 전자동 디지털 노광기로 탄생한 Mask Less의 INPREX는 압도적인 생산성과 고정밀 고속 노광을 실현하였습니다. 또한 클램프를 비롯한 여러가지 새로운 기능은 휨기판등 실제 양산시 발생할수 있는 여러가지 문제에 대한 대응력을 크게 향상시켜 장비의 가동율을 극대화 시켰습니다. 압도적인 생산성과 여러 고객의 양산 Line에서 안정된 가동 실적을 쌓아온 INPREX는 높은 품질과 높은 생산성을 실현한 차세대 노광장치 입니다.
         
해상성
장래의 Fine화 에도 대응 가능한 성능
IP-3750H : L/S=15um/15um
IP-4000H : L/S=15um/15um
IP-3650HH : L/S=8um/8um
6um 고해상도機 : L/S=6um/6um
IP-3800H : L/S=15um/15um
IS-4000H : SRO Φ50um
생산성
시간당 최대 264매 생산 가능
IP-3750H :264매/hr(기판Size 510x610㎜, 10mJ이하)
IP-4000H :264매/hr(기판Size 510x610㎜, 10mJ이하)
IP-3650HH :126매/hr(기판Size 510x610㎜, 22mJ이하)
6um 고해상도機 : 75매/hr(기판Size 510x610㎜, 30mJ 시)
IP-3800H :175매/hr(기판Size 610x813㎜, 13mJ이하)
IS-4000H :52매/hr(기판Size 510x610㎜, 200mJ)
정합력
고정도 Over layer
IP-3750H:±7.5um
IP-3650HH:±7um
IP-3800H:±10um
IS-4000H:±7.5um
자동화
자동반송기구 일체형 장치
양산 Line 투입을 전제로한 일체형 자동 반송 기구 및
기판 클램프 등, 양산시 발생할수 있는 문제에 대한 여러가지 대응.
각종 Tool
자동화를 Support 하는 각종 기능의 탑재
Data 자동등록 Tool 및 각종 생산관리 를 위한 기능의 탑재.

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