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노광기

INPREX [IP-5/IP-6 9000 * 9500H/IP-8 8000H/IP-15 5000UH*UHS/IP-12 6000H/IP-10 7000H/IP-15 L3800(H)]
고해상도, High Throughput의 Mask Less Digital 노광장치.
2005 년 세계 최초의 양산 라인 대응의 전자동 디지털 노광기로 탄생한 Mask LessINPREX는 압도적인 생산성과 고정밀 고속 노광을 실현하였습니다.
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ADEX6000S/5300P,S/5250P,S/4000P,S
ADEX6000S/5300P,S/5250P,S/4000P,S series는 고해상도 및 고정도 기판의 생산에 요구되는 Over layer 정도 향상을 위한 분할 Shutter를 탑재하고 있습니다. ModelPattern용과 Solder resist용으로 크게 구분되며, F/C PKG 기판에 특화한 전용 Model도 갖추고 있습니다. 또한, 기판의 대형화에 대응한 모델과 고속화에 대응한 모델 등, 다양한 Lineup을 갖추고 있으며, 용도에 따라 8KW/10KW의 평행광원을 채용하고 있습니다.
 
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ADEX3100P,S/3300P,S
ADEX3300PL,P/3300SL,S(LED Type)
 ADEX3100P,S/3300P,SMLB,HDI기판 대응용 Middle Range컨텍노광 장비로, 박판기판의 밀착력 강화를 위해, 진공 밀착방식을 채용하고 있으며, 회로 및 SR용 을 모두 갖추고 있습니다. 반송, 밀착 방식, 생산성, Alignment 정도, 이물대책 등에서 개량,개선을 더해 종래 이상으로 고품질 기판의 안정 생산을 가능하게 하였습니다.
아울러, 고수명Type으로 LED광원 모델도 Line up에 추가 하였습니다.
 
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ADEX3100S
ADEX3100SPrint 기판의 Solder Resist 용 으로써 고정도 Alignment, Compact 를 추구한 자동노광기 입니다. PSR 노광장치의 최대 ISSU 라고 할수 있는 sticky 문제를 최소화 하였습니다.
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ADEX2300P/1300P
 ADEX2300P는 다층 Print 기판의 내층 회로형성 공정에서 생산성 향상을 테마로 개발된 고 생산성의 양면동시 자동노광장치 입니다. 본 모델은 업계최고 수준의 생산성을 자랑하는 모델로 ADEX1300P산란광Type, ADEX2300P평행광 Type입니다. ,하측 Copy frameSettingMask Film고정도의 화상처리로 Mask간 정합 후, 기판양면을 동시에 노광 합니다.
 
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AFLX2600P5
AFLX2600P5는 Roll상태 Flexible기판의 상,하 양면을 동시에 노광할 경우에 사용할 수 있는 양면동시 자동노광장치입니다.
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ACPM650
ACPM650은 현상전 Print 기판의 Dry Film의 Cover Film을 자동으로 박리하는 장치 입니다.
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